品牌型号 | 中图 WT3200-Ultra |
仪器地点 | 仙林校区军民融合大楼 |
仪器功能及附件 | 1. 白光干涉扫描和共聚焦扫描两种类型的光学测量功能； 2. 物镜： 干涉物镜10×、20×、50×， 共聚焦物镜5×、10×、20×、 50×、100×（APO） |
主要技术指标 | 1. 台阶测量：干涉模式：精度0.5%，重复性0.1%； 2. 共聚焦模式：精度(0.15+L/100)μm，重复性12nm； 3. 粗糙度RMS重复性0.01nm（干涉模式）； 4. 影像系统100万像素。 |
仪器使用范围 | 广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。 |
联系方式 | 陈老师 025-83592246 chenlu@nju.edu.cn |
