纳米等离子清洗仪

发布者:管理员发布时间:2025-12-28浏览次数:17



品牌型号

Fischione 1070


仪器地点

苏州校区科创大厦C016


仪器功能及附件

对样品或样品杆在插入电镜之前及时有效清洗,去除样品表面碳氢污染物,防止在观察和分析过程中发生积碳现象


主要技术指标

1.产生的等离子体中的离子/电子成分能够被去除,从而不产生溅射损伤和热效应对样品的破坏

2.等离子体能量:<12 eV

3.配备三路气体输入,能够实现任意组分气体的混合

4.配备无油机械泵和分子泵,真空度优于1×10-6mabr

5.能够同时清洗至少2根透射电镜样品杆,且清洗样品舱能够清洗≥3.5英寸的样品

6.采用全触屏配方式操作,全自动完成样品清洗

7.配备分子泵隔离阀,最大程度保护分子泵,同时能够实现快速换样


仪器使用范围

能够高效清洗样品、样品杆、各类样品台、样品铜网、电镜光阑等


联系方式

马老师 18810081172 madandan@nju.edu.cn

王老师 15838190889 mywang@nju.edu.cn



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