品牌型号 | 赛默飞Helios5 CX |
仪器地点 | 苏州校区科创大厦C018 |
仪器功能及附件 | FIB电镜结合了聚焦离子束（FIB）和 扫描电子显微镜（SEM）的功能，可实现高分辨率成像和精确微加工。 |
主要技术指标 | 1.离子束分辨率：≤2.5nm@30kV；离子束流强度：1pA-100nA；加速电压范围：500V-30kV 2.电子束分辨率：≤0.7nm@15kV（正常模式）；0.9nm@1kV（减速模式）；着陆能量：20eV-30keV；电子束束流强度：1pA-150nA 3.配备W、C、Pt沉积气体 4.具备极靴内低位探测器（具有二次电子和背散射电子模式）；样品室内传统二次电子探测器；镜筒内中位电子探头；镜筒内高位电子探头；样品仓红外CCD相机；样品仓彩色光学导航相机 |
仪器使用范围 | 聚焦离子束/电子束显微镜可用于金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构；用于高质量的定点TEM样品制备以及化学和晶体结构三维形态分析等。 |
联系方式 | 马老师 18810081172 madandan@nju.edu.cn 王老师 15838190889 mywang@nju.edu.cn |
