品牌型号 | 蔡司 GeminiSEM 560 |
仪器地点 | 苏州校区科创大厦C018 |
仪器功能及附件 | 形貌观察：SE、BSE；成分分析及取向分析：配备能谱、EBSD探头 |
主要技术指标 | 1.分辨率：0.4 nm @15kV（SE），0.7 nm @1kV（SE）；1.0nm @1kV（镜筒内背散射探测器Inlens BSE） 2.低电压配备电子束减速模式：镜筒内减速（此模式时电压不低于20kV） 3.电子束加速电压范围：0.02kV～30kV，着陆能量范围：20eV～30keV（非样品台减速模式下） 4.电子束流：最大束流20nA，束流稳定性优于0.2% 5.样品最大直径200mm；配备快速样品交换仓，可放置样品直径80mm，抽真空时间45s 6.探测器：配备样品室二次电子探测器、镜筒内部二次电子探测器（Inlens SE探测器，位于正光轴上，使用过程不需要加偏压）、镜筒内背散射探测器（EsB探测器，位于正光轴上，使用过程不需要加偏压，镜筒内配置能量过滤系统，可调节能量范围0-1500V） 7.样品室真空度：高真空模式优于2.0×10-4Pa |
仪器使用范围 | 场发射高分辨扫描电镜是一种介于透射电镜和光学显微镜之间的观察手段，主要用来表征物质微观形貌，广泛用于材料科学、冶金学、地球科学、化学物理学等领域 |
联系方式 | 马老师 18810081172 madandan@nju.edu.cn 谷老师 18625186220 gumiao@nju.edu.cn |
